W celu zapewnienia dynamicznego rozwoju VIGO System prowadzi program Processing 2.0. Program ten ma na celu rozwój istniejących technologii jak i wytworzenie nowych produktów, które znajdą się w portfolio VIGO.

W ramach programu Processing 2.0 VIGO realizuje projekt inwestycyjny pt. „Wdrożenie opracowanej w ramach projektu “Narażenia” technologii produkcji chipów detekcyjnych” w ramach Poddziałania 3.2.2 Kredyt na Innowacje Technologiczne Programu Operacyjnego Inteligentny Rozwój 2014 – 2020 współfinansowanego ze środków Europejskiego Funduszu Rozwoju Regionalnego.

Dla zapewnienia odpowiedniej szybkości prowadzenia prac badawczo-rozwojowych (B+R) konieczna była rozbudowa laboratoriów pomiarowych. Istotnym zakupem w ramach projektu Processing 2.0 był Wysokopróżniowy Skaningowy Mikroskop Elektronowy (SEM). Dotychczas badania z wykorzystaniem SEM prowadzone były w zaprzyjaźnionych instytucjach zewnętrznych. Prowadzenie badań na miejscu pozwoli na znaczne przyspieszy rozwój produktów zarówno nowych jak i obecnych.

Zakupiony mikroskop wyposażony jest w źródło zimnej emisji polowej (CFE), detektory elektronów wtórnych (SE), detektory elektronów wstecznie rozproszonych (BSE). W niedalekiej przyszłości planowana jest rozbudowa systemu o dodatkowe detektory, które pozwolą na poszerzenie możliwości badawczych. Ponadto SEM wyposażony jest w śluzę, która pozwala na szybkie wprowadzenie próbki, co dodatkowo zwiększa szybkość
prac B+R.

SEM – Regulus 8230 – wyprodukowany przez Japońską firmę Hitachi w obecnej konfiguracji pozwala na obrazowanie preparatów z uwzględnieniem kontrastów materiałowych i topograficznych. Celem pomiarów będą prace badawczo-rozwojowe oraz analiza awarii detektorów próbnych, a w efekcie zapobieganie awarii w nowszych iteracjach detektorów.

Mikroskop jest niezbędnym elementem procesu kontroli jakości. W standardowym przypadku po stwierdzeniu nieprawidłowego działania detektora poddano go analizie z wykorzystaniem SEM w celu sprawdzenia architektury wytworzonych struktur. Stwierdzono, że jeden z procesów trawienia był zbyt długi, czego efekt widać na mikrografii poniżej. W efekcie urządzenie nie spełnia swojej funkcji. Następnie zmniejszono czas trwania trawienia jonowego w celu poprawy procesu.

W VIGO prowadzone są prace nad wdrożeniem do produkcji laserów o emisji powierzchniowej – VCSEL (ang. Vertical Cavity Surface Emitting Laser). Kluczowym elementem wytworzenia tychże laserów jest apertura, która powstaje przez utlenienie jednej z warstw.

Utleniona część warstwy charakteryzować się będzie ciemniejszym odcieniem na obrazie mikroskopowym. Na poniższym obrazie zaobserwować możecie, że warstwy utleniają się z różną szybkością i jedna z nich utlenia się szybciej co jest celowym zabiegiem i sposobem wytworzenia apertury.

WYDATEK WSPÓŁFINANSOWANY ZE ŚRODKÓW EUROPEJSKIEGO FUNDUSZU ROZWOJU REGIONALNEGO

POIR 03.02.02-00-1638/18-00